杰青、长江特聘教授、IEEE Fellow。以第一作者或通讯作者发表论文被SCI收录100余篇、SCI他引1000余次；授权中国发明专利100项；教育部自然科学一等奖2项、省部级科技进步一等奖2项。现任国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”重点专项指南编制组成员；曾任国家“十二五”863计划微纳制造技术主题专家组专家（召集人）、国家“十五”863计划MEMS重大专项总体组专家。